本技术提供一种偏振无关非易失性片上光开关,包括二氧化硅衬底,还包括设置在二氧化硅衬底上表面中部呈条形凸起结构的硅基多模波导,硅基多模波导上表面开设有直线形的狭缝,狭缝中填充有Sb<subgt;2</subgt;S<subgt;3</subgt;材料;硅基多模波导的一端一体成型有用于输入信号的第一输入波导以及第二输入波导,另一端一体成型有用于输出信号的第一输出波导以及第二输出波导,本申请可以对偏振无关的光信号进行路由切换,便于小型化和集成,且性能优越。
背景技术
随着光通信和光子学技术的快速发展,对高性能光开关的需求也日益增加。集成式光开关在光通信系统中起着至关重要的作用,主要用于控制光信号的路径切换和路由。传统光开关在实际应用中存在明显的缺点,尤其是无法有效地实现对偏振无关的光信号切换。为了克服这些限制,近年来出现了基于硅光子技术的光开关方案。硅光子技术利用硅材料的优异光学特性,通过微电子工艺实现高密度集成和低成本制造。然而,硅光子器件依赖于载流子注入、热光效应或电光效应来控制波导的折射率,但这些方法的调节范围较小,导致器件尺寸较大且功耗较高。另外一方面,硅光子器件由于本身结构的原因,一般是偏振敏感的,这是由于TE模和TM模传输特性不同,折射率不同,导致很多硅光子器件都是偏振敏感的。但是实际应用中,需要精确控制光的偏振态,要求光开关能够处理任意偏振态的光信号而不影响其性能。为了实现偏振无关的光开关,大多采用热光或电光方式进行,这样的方式又由于上述的原因会造成比较大的尺寸,影响集成度。
实现思路