本申请提供一种可用于逆向传输、低损耗的Y分支光波导器件,包括:衬底;绝缘层;以及波导层,波导层被刻蚀形成波导结构;波导结构包括:输入波导;连接部,连接部的第一端与输入波导连接;第一分支波导和第二分支波导,第一分支波导与连接部的第二端邻接,第二分支波导与连接部的第三端连接;以及第一输出波导和第二输出波导,第一输出波导与第一分支波导远离连接部的一端连接,第二输出波导与第二分支波导远离连接部的一端连接;连接部的第一侧边实现输入波导和第一分支波导的过渡,第一侧边由等距排列的多个半圆形凸起构成;连接部的第二侧边实现输入波导和第二分支波导的过渡,第二侧边由等距排列的多个半圆形凸起构成。
背景技术
随着信息社会的发展,人们的生产生活对数据的传输速度和数量越来越高,电互联的频率越来越高,引起了带宽受限、信号失真、干扰较大等问题,实现超高速电路遇到了瓶颈。然而,光通信的出现突破了这一瓶颈,使远距离高速通信成为了可能,极大的方便了人们的生产和生活,因此,光通信成为了二十一世纪最重要的科技进展之一。
光通信器件是光通信系统的核心基础,是光传输系统的重要器件,其技术是光通信领域中具有前瞻性、先导性和探索性的战略必争高技术,该技术代表一个国家在光通信领域的水平能力。
光集成技术(PIC)是未来光器件的主流发展方向,近年来一直是业内关注和研究的焦点。光子集成技术相对于目前广泛采用的分立元器件,在尺寸、功耗、成本、可靠性等方面优势明显,是未来光器件的主流发展方向。
铌酸锂晶体是一种人工合成多功能材料,它具有优良的电光、声光、非线性光学特性,在可见光和近红外波段都具有较高的透过率,被广泛应用于集成光学领域。由于铌酸锂和二氧化硅之间的高折射率差,基于LNOI(Lithium Niobate on Insulator,锂铌酸锂单晶薄膜)制备的光子器件在集成度和器件性能上都得到了很大的提升,以LNOI为平台实现多器件集成己成为可能。
Y分支波导是集成光电子学中重要的基本光波导单元之一,被广泛应用于光耦合器、光调制器、复用/解复用器、光开关、以及光纤陀螺多功能芯片等集成光学器件中,其性能的优劣直接关系到这些器件性能的好坏。在传统的Y分支结构中,逆向单端传输会带来较大的辐射损耗。
实现思路