本技术涉及纳米电极器件制造领域,特别涉及一种纳米电极的制备方法及制备装置。纳米电极的制备方法及制备装置通过对热源的选择、拉伸结构的设计,实现金属丝在毛细玻璃管中的封装和拉制成型,解决了金属丝拉制困难、不易成型的问题,能够稳定制造出纳米电极器件,包括双孔同种金属隧穿纳米电极器件、单孔金属纳米电极器件和双孔异种金属隧穿纳米电极器件,用于电化学、隧穿传感、单分子检测和纳米热电偶领域的研究。
背景技术
纳米电极制造是纳米技术及相关领域的研究热点之一,受到科学界及产业界高新技术仪器公司的广泛关注和重视。纳米电极作为一种新型的电化学传感器材料,具有极高的传质速率和传感灵敏度,广泛应用于电化学、单分子化学反应、单分子检测、单细胞研究和高分辨率成像等前沿领域。此外,两个或者多个独立的纳米电极可以形成隧穿尺度下的纳米电极对,在量子隧穿、等离激元纳米光学和DNA与蛋白质测序领域中发挥重要作用。
在现有技术中,有许多方法用于制备纳米电极器件,例如,光刻技术、电化学刻蚀、电迁移、断裂结技术以及毛细玻璃管拉制等。其中,通过拉锥仪将毛细玻璃管拉制形成纳米电极器件的方法具有低成本、便捷及成品率高的优势。但常规的激光加热的方式在拉制时存在拉制时间过长,金属丝不易成型,激光加热模块容易发生损坏,对设备造成损伤问题。
由此可见,目前的毛细玻璃管拉制方法制备效率较低、设备耗损高、维护困难,那么基于毛细玻璃管拉制方法,如何使制备纳米电极更高效化和经济化是本发明所要解决的问题。
实现思路