本技术介绍了一种创新的透明氮化镓材料清洁方法,该方法通过酸和强碱溶液的交替使用,实现对非蓝宝石衬底的氮化镓材料的高效清洁。所使用的酸包括浓盐酸、浓硝酸或浓硫酸,特别强调了浓盐酸的使用效果。
背景技术
非蓝宝石衬底透明GaN由于生长以及使用过程中将不可避免的在表面产生各种杂质的残留,例如在空气中静置时的极化吸附或经过若干测试、加工等工序后,其表面将会受到不同程度的污染,从而影响后续实验的进行,甚至影响材料、器件的性质。
此外,对于非蓝宝石衬底透明GaN样品来说,若清洗不当,则可能导致材料的透明度下降,通常要求清洗工艺保证材料的透明度不下降或者透明度下降不超过5%。由于其对透明度的特殊要求,传统半导体清洗工艺并不适合于清洗非蓝宝石衬底透明GaN。并且,工业级的清洗工艺较为复杂,且对设备的要求及成本均较高,常规普通实验室或者小规模的研究试验不宜采用工业清洗方法,因为会导致不必要的成本增加,且通常不具有相应的设备条件。因此,在常规普通实验室或者小规模的研究试验中,当非蓝宝石衬底透明GaN表面被污染后,如何在保证高透明度的前提下采用相对便捷的清洗方法去除污染,是目前亟待解决的问题之一。
实现思路