无缝隙微孔填充技术:薄面铜专用镀液与方法
2025-02-12 20:29
No.1339332705514692608
技术概要
PDF全文
本技术介绍了一种专门用于薄面铜的无缝隙微孔填充镀液及其填充方法。该镀液由铜离子、酸性电解质、桥接离子和水组成,特别添加了非离子型和阴离子型表面活性剂以增强镀液性能。
背景技术
以芯片和显示屏为代表的高端电子制造产品需要通过图案化的金属层作为电气互连和信号传输的材料。电镀是在上述产品中实现金属沉积最广泛、高效和经济的方法。上述产品涉及的工艺环节通常需要:先在以硅、玻璃和有机聚合材料等为代表的介质中形成微孔或沟槽;随后根据需求,可选地在表面和侧壁形成阻挡层、黏附层和电镀种子层等薄膜结构;然后再借助电镀工艺将所需金属填充到微孔或沟槽;最后通过化学机械抛光等技术实现表面减薄和平坦化。随着半导体器件逐渐朝向低成本、高可靠性以及高度集成化的方向发展,金属互连的挑战就是在高密度、高深宽比的微孔内实现均匀地、无缝隙地填充。 现有技术中,通过在镀液中添加化学助剂,借助化学助剂在金属表面的作用,以及化学助剂之间的相互作用,在微孔和表面之间形成加速区和抑制区,从而实现高深宽比微孔的无缝隙填充。相关技术虽然支持在高深宽比微孔和表面之间产生生长动力学差异从而实现无缝隙填充,但常会由于化学助剂吸、附脱位点的随机性而导致填充均匀性较差。同时具备无缝隙和高均镀能力的技术方案则最终会在表面形成一层较厚的金属层,这种方案降低了后续抛光工艺的效率,并造成资源浪费。因此,需要一种薄面铜的无缝隙微孔填充镀液和方法。
实现思路
阅读余下40%
技术概要为部分技术内容,查看PDF获取完整资料
该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
孙建军  冯磊  黄烨  刘龙
技术所属: 福州大学
相关技术
一种基于纳米纤维素纤丝和纤维素纳米晶的锌离子电池阳极材料制备方法及应用 一种基于纳米纤维素纤丝和纤维素纳米晶的锌离子电池阳极材料制备方法及应用
应用于双有源桥变换器的高自由度调整策略及优化方法 应用于双有源桥变换器的高自由度调整策略及优化方法
一种转子位置的无传感器检测方法 一种转子位置的无传感器检测方法
一种电解液添加剂、电解液以及应用 一种电解液添加剂、电解液以及应用
一种基于多流股换热的卡诺电池系统 一种基于多流股换热的卡诺电池系统
一种旋转摩擦加电装置 一种旋转摩擦加电装置
一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移技术 一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移技术
基于锁频环的并网变流器虚拟惯性控制装置、方法 基于锁频环的并网变流器虚拟惯性控制装置、方法
基于过零点检测的振荡频率提取方法及系统 基于过零点检测的振荡频率提取方法及系统
一种锂电池复合铝箔及其制备方法 一种锂电池复合铝箔及其制备方法
技术分类
电信、广播电视和卫星传输服务 电信、广播电视和卫星传输服务
互联网软件服务 互联网软件服务
集成电路设计 集成电路设计
信息集成数字服务 信息集成数字服务
电气机械制造 电气机械制造
计算机、通信、电子设备制造 计算机、通信、电子设备制造
医药制造、生物基材料 医药制造、生物基材料
石油煤矿化学用品加工 石油煤矿化学用品加工
化学原料制品加工 化学原料制品加工
非金属矿物加工 非金属矿物加工
金属制品加工 金属制品加工
专用设备制造 专用设备制造
通用设备制造 通用设备制造
通用零部件制造 通用零部件制造
汽车制造业 汽车制造业
铁路、船舶、航天设备制造 铁路、船舶、航天设备制造
电力、热力生产和供应 电力、热力生产和供应
燃气生产和供应 燃气生产和供应
水生产和供应 水生产和供应
房屋建筑、土木工程 房屋建筑、土木工程
交通运输、仓储和邮政 交通运输、仓储和邮政
农、林、牧、渔业 农、林、牧、渔业
采矿业 采矿业
农副、食品加工 农副、食品加工
烟草、酒水加工 烟草、酒水加工
纺织皮具居家制品 纺织皮具居家制品
文教体娱加工 文教体娱加工
苏ICP备18062519号-5 © 2018-2025 【123技术园】 版权所有,并保留所有权利