本项技术革新涉及集成电路制造领域,推出一种新型平面电机动子,采用扁平线圈设计以增强出力性能。该设计通过优化线圈槽满率,实现了出力性能的提升,同时考虑线圈散热问题,确保了电机的稳定性和效率。
背景技术
磁悬浮平面电机大量使用在超精密加工和半导体制造中,如EUV光刻领域便有着重要的应用;而对于动圈式平面电机来说,其动子模组采用多个线圈而构成,通过给线圈通入电流由此产生的洛伦兹力驱动平面电机动子进行运动;
而在这其中关键的技术指标便是线圈的出力性能与散热性能;提高出力性能可以满足光刻系统中对于上方的精密计量装置负载的要求,同时也可以增加在光刻系统中的加速度,以此满足运动状态的快速加减速的要求;而目前对于动子平台里面的线圈组均采用普通圆形线圈作为洛伦兹力的产生组件,而采用圆线圈由于其槽满率不足,其出力性能仍有提高空间。
实现思路