创新陶瓷环与石墨舟结构
2025-02-08 18:46
No.1337857053745750016
技术概要
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本实用新型介绍了一种新型陶瓷环,具备安装环和防导环结构。安装环设有安装孔,便于固定在安装杆上。防导环紧套于安装环外侧,两者之间形成第一防导槽。
背景技术
太阳能电池的制备过程中,硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。在镀膜工序中,硅片以石墨舟为载体放入镀膜设备中,在一定温度下向镀膜设备内通入反应气体,以使硅片的表面形成需要的反应膜。 如图1和图2所示,石墨舟中相邻的两个舟叶600之间是通过套设在安装杆500上的陶瓷环400隔开的,以使各个舟叶600之间保持一定的距离,同时对舟叶600起到支撑的作用,并且陶瓷环400采用陶瓷绝缘材料主要为了防止相邻不同极的舟叶600之间出现短路导通的问题,以避免影响工艺的正常进行。在镀膜工艺过程中,反应气体的流动方向如图1中箭头所示,反应气体在石墨舟的各个舟叶600之间穿过,并在不同极的舟叶600之间发生反应,使硅片形成了需要的反应膜。 但是,陶瓷环400的外表面直接也会与反应气体接触,且所处的环境条件满足发生镀膜反应,尤其随着石墨舟使用次数的增多,陶瓷环400表面被镀上一层具有一定导电性的薄膜,当膜的厚达到一定程度之后就具有导电能力,使得不同极的舟叶600之间发生短路,而且现有的陶瓷环400表面为柱面,随着使用时间增加,薄膜很容易在陶瓷环400表面积累形成导电层。 因此,在镀膜工艺过程中如何提高石墨舟舟叶之间的防导通能力,是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
实现思路
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该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
李挺严大张胜高朝阳
技术所属: 江苏微导纳米科技股份有限公司.
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