本实用新型公开了一种检测装置及镀膜设备。检测装置用于对待测薄膜表面的形变量进行检测，检测装置包括机架、驱动机构和检测机构。驱动机构设置于机架上；检测机构设置于驱动机构上，并在驱动机构的驱动下沿第一方向往复运动，检测机构包括安装座、转轴、检测杆、检测头、压力检测元件和弹性组件，转轴设置于机架上并沿第一方向延伸，检测杆可沿转轴的长度方向移动并可绕转轴转动，压力检测元件和弹性组件设置于安装座上，弹性组件与检测杆抵接，压力检测元件用于对弹性组件所受的压力进行检测，检测头设置于检测杆远离安装座的一端并与待测薄膜的表面接触。本实用新型可以解决现有技术中的水平检测仪器无法对膜材表面的变形进行检测的问题。
背景技术
目前，塑料功能膜的表面金属化处理及相关的柔性基材的镀膜技术被广泛应用，该应用多半是采用真空镀膜的方式在非常薄(仅有几微米厚度)的基膜的表面进行金属层或者非金属层的沉积。由于已完成镀膜的膜材后端的应用对膜材的表面质量，尤其是膜面变形的要求相对较高，以避免例如复合集流体材料在电芯制备过程中出现物料涂布的质量问题，因此，在进行镀膜设备辊系状态的调试过程中需对已完成镀膜的膜材的表面质量(凸起或者凹陷、膜材的平行度)进行检测。
然而，现有的水平检测仪器难以在辊系非常密集的空间进行检测，且该水平检测仪器无法获取膜材基于辊系支撑运动状态下膜材的受力状态(膜材张紧或者松弛状态)，这会对基膜在镀膜时的贴辊产生影响，且膜材在收卷过程中会产生褶皱、鼓筋等缺陷。因此，需设计一套检测装置，以在镀膜设备调试或者镀膜设备运行过程中对膜面的变形进行检测。
实现思路