本公开涉及一种线阵相机的调焦方法、装置及自动光学检测设备,该方法包括:确定线阵相机在当前采集第一图像时的第一位置以及所述第一图像的清晰度特征值;从数据库中获取对应于所述清晰度特征值的所述线阵相机的第二位置;基于所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值以及所述第一位置,确定所述线阵相机的聚焦位置。本公开的调焦方法能够采集到清晰的图像,解决现有技术中由于玻璃基板凹凸形变导致线阵相机获取的图片模糊,无法准确检测玻璃基板缺陷的技术问题,提高AOI设备的检测精度;且调焦方便快捷。
背景技术
AOI(Automatic Optical Inspection,自动光学检测)是面板及微电子等行业广泛使用的测量手段,其中,AOI设备是面板及微电子等行业广泛使用的检测设备。AOI设备可用于检测基板的表面的图像是否符合规定、是否存在由破坏性物质造成的坏点及判定破坏性物资等造成的坏点的准确位置,如可以直接采用AOI设备对基板拍照得到清晰的图像,并通过分析该图像对基板是否存在坏点进行检测。
AOI设备中检测的关键部件是其线性扫描相机(TDI相机,简称线性相机)。线性相机扫描获得灰度图像时,图像的清晰度决定了获取基板缺陷的准确度。TDI线性扫描相机获取的图像清晰度由相机聚焦决定。
不同玻璃基板在同一位置的凹凸形变度是不一致的,导致TDI相机同一位置,不同玻璃基板聚焦或者失焦,获取的图片分辨率也不一致,有的图片清晰,有的图片模糊。在对获取的图像进行周期比对、分析确认基板缺陷时,由于不能对获取的模糊图像进行有效识别处理,导致基板缺陷不能有效检出,影响基板产品的良率及品质。
实现思路