本实用新型属于碲锌镉晶体检测的技术领域,具体涉及一种碲锌镉晶体缺陷多功能检测设备,这种碲锌镉晶体缺陷多功能检测设备一种碲锌镉晶体缺陷多功能检测设备,包括:底座、设于底座上的光源固定器和设于光源固定器上的红外透射光源,所述红外透射光源上设置有可移动载物台,以放置碲锌镉晶体;所述红外透射光源照位于所述可移动载物台的下方,以向上射于所述可移动载物台。这种碲锌镉晶体缺陷多功能检测设备具有红外透射拼图、红外光谱、红外热吸收成像拼图和表面形貌拼图四种检测方式,将晶体固定在载物台后,可一次性进行四种检测,所拍摄检测图像尺寸一致,便于数据对比,且减少了因多次检测晶体在途中产生划痕和碎裂的几率。
背景技术
碲锌镉晶体是一种重要的化合物半导体材料,为闪锌矿结构,广泛应用于空间探测、医疗影像、环境监测、核安全防护及基础科学研究等领域。然而目前采用垂直布里奇曼法制备的碲锌镉单晶中存在较多的缺陷,如夹杂、孪晶、小角度晶界、多晶等缺陷,这些缺陷对其制备的探测器性能有很大的影响。
目前表征碲锌镉缺陷的方法有X光貌相和红外透射显微镜、红外光谱仪。这些方法都能有效检测碲锌镉晶体缺陷,但是每种方法对应了不同的检测仪器,每次更换检测仪器检测晶体缺陷时,需要将碲锌镉取样放置,浪费时间,途中可能造成二次污染,且由于碲锌镉具有软脆性,晶体表面与载物台可能产生摩擦,造成晶面产生划痕,对检测结果造成影响;甚至可能因为操作不当增加了碎裂的几率,从而对最终良率产生影响。而且每种检测仪器的成像尺寸不统一,不便于对晶体某一局部位置的多种缺陷形貌图进行对比。
实现思路