本申请提供一种半导体场效应晶体管液体传感器及其制造方法,包括:基板、半导体场效应晶体管和微流道结构。微流道结构包括基片、参比电极和盖片。基片包括沟槽,沟槽用于放置参比电解液,参比电极至少覆盖沟槽的侧壁。盖片设置于基片远离基板的一侧表面,盖片覆盖沟槽,盖片用于进行参比电解液和待测溶液之间的离子交换,从而实现液体传感器进行检测的功能。由此可见,本申请通过利用包括沟槽的基片,覆盖沟槽侧壁的参比电极以及密封参比电解液的盖片形成集成度较高的微流道结构,微流道结构和半导体场效应晶体管集成在同一个基板上,进一步提高集成度,从而最终实现半导体场效应晶体管液体传感器的微型化,从而满足多种场景的检测需求。
背景技术
当前可以利用液体传感器对液体环境中的离子或生物物质进行传感检测。常用的液体传感器可以包括电化学传感器和半导体传感器。电化学传感器虽然制造工艺成熟,但是电化学传感器集成度低,电化学传感器包括的信号转换器、外电路和测量系统等更像是和核心部件(包括电极、电解液和滤膜)的简单加和,即电化学传感器集成度低限制其微型化发展。半导体传感器检测限低、可靠性高,但是半导体传感器通常需要一外置的参比电极施加栅偏压,常规的参比电极的大尺寸限制半导体传感器微型化发展。
但是随着检测场景的增加,例如针对狭小空间和复杂环境,就需要微型化的液体传感器,因此,当前存在对液体传感器的微型化需求。
实现思路