本技术公开了一种离子束超精密修形加工装置及其加工方法,属于超精密加工技术领域,为了解决喷嘴的内部或者边缘处会产生积灰,以及喷嘴磕碰变形,对离子束进行遮挡,影响整形精度的问题,本发明中的一种离子束超精密修形加工装置,包括基座和固定设置在基座上的安装架,安装架上固定设置有安装板,安装板上固定设置有升降组件,升降组件和离子发生器上共同设置有转动组件,转动组件上分别固定设置有一对检测组件和一对矫正组件一,检测组件上固定设置有矫正组件二,本发明能够在喷嘴出现轻微弯曲或者变形时,先对喷嘴进行矫正,而不是直接对喷嘴进行更换,在维持高精度加工的同时,还提高了对喷嘴利用率。
背景技术
离子束超精密修形加工装置,是一种利用高能量离子束对工件进行加工整形的装置,具体原理如下:将离子源产生的离子通过电场或磁场加速到高能量的状态,高能量的离子从喷嘴喷射至工件表面,会将工件表面的原子撞击出来,使得工件形成局部熔融或变形,进而实现对工件的整形及加工;利用离子束对工件进行整形与加工,具有精度高、质量好,速度快以及成本低等优点,因此,常被用于对精密工件的加工与整形。
中国专利CN118357558B公告了一种弯臂摆动式五轴离子束超精密修形加工装置,包括基座、工件夹持机构和离子束修形机构;所述的工件夹持机构用于夹持工件;所述的离子束修形机构用于安装离子源;所述的工件夹持机构和离子束修形机构配合实现离子源相对于工件的五轴联动,实现离子源对工件的异形自由曲面进行法向加工;所述的工件夹持机构至少包括用于驱动工件以竖向轴为轴心转动的C轴运动台,以及通过连接臂设置于C轴运动台上方的用于驱动工件以水平轴为轴心转动的B轴运动台,连接臂为弯臂,B轴运动台安装于弯臂内弧一侧。该发明扩大了离子束修形可加工范围,避免部分运动轴因负载过大产生变形影响加工精度,提升装置的动态性能,避免对运动轴的行程要求过高。
上述公开的专利,虽然能够提升装置的动态性能和加工精度,但是影响离子束超精密修形加工装置的因素还有很多,其中离子束超精密修形加工装置的喷嘴对加工精度也会产生较大的影响,首先,设备经过长时间使用后,喷嘴的内部或者边缘处会产生积灰,在离子束喷射的过程中会出现遮挡,进而影响整形精度,除此之外,设备长时间运转后,在运动行程上会出现误差或者由于其他原因而导致喷嘴被磕碰变形的,同样会对离子束进行遮挡,进而会影响整形精度。
针对以上问题,提出了一种离子束超精密修形加工装置及其加工方法。
实现思路