本技术揭示了一种采用SOI基底的微机械阻抗匹配网络调谐器,该调谐器具备缺陷地结构,旨在降低损耗并优化器件性能。其制造方法详细阐述了器件结构的构建顺序,以实现高效能的调谐功能。
背景技术
匹配网络是微波无线通信系统中的重要部分之一。在微波中继通讯、卫星通信、雷达、宽带放大器和乘法器、电子对抗及其微波测量系统中,可重构匹配网络具有广泛的应用,它可以减少天线输入处的损耗,提高其性能,可以使功率放大器发挥较高的系统效率,主要应用在多波段通讯系统、雷达和宽波段跟踪接收器以及镜像抑制混频器应用的需要。
可重构匹配技术网络是基于SOI基底的沿CPW线的周期性放置DGS结构,从而由于其慢波效应和其特性阻抗而增加有效介电常数。其结构由SOI基底、CPW线、DGS结构、MEMS开关等构成。此器件具有工艺制作简单、成本低、较好的产品稳定性、质量可靠。所以由其构成的可重构电路满足了它们有低插损,高线性度;可以满足低噪声放大器/混频器之前的要求,此器件可以应用在军事系统需要很宽而且连续的颇带,DGS结构具有相对较高的自谐振频率,因此也能覆盖大变化范围的阻抗。
实现思路