本技术涉及一种高精度调平系统,包括装置、平台和方法,旨在高精度调平技术领域内实现高效调平。该系统特别关注在保持调平精度的同时,简化主动调平机构的控制复杂度和降低操作成本。
背景技术
高精度调平技术在多个领域都发挥着重要作用,并且高精度的调平机构被广泛应用于各类领域,例如,在光学设备中,显微镜的成像质量直接受到其调平精度的影响;在半导体制造过程中,光刻、刻蚀等关键工艺对设备的调平精度有极高要求。在电子、汽车等行业的精密装配过程中,高精度的调平技术可以确保零部件的准确装配,减少装配误差,提高产品的整体性能;在航空航天领域,飞行器的姿态控制对调平精度也具有极高要求。
同时,调平技术可以分为被动调平和主动调平。被动调平具有响应速度慢、调平精度低、延迟性高的缺点,主动调平可以实现快速且高精度的调平。
其中,大多主动调平机构往往采用音圈电机进行驱动,其通过驱动器直接驱动,无需中间传动环节,如齿轮、皮带等,从而减少了能量损失和机械摩擦,提高了系统的整体效率。并使得音圈电机具有高精度(其精度可以达到微米级甚至纳米级)、高响应速度、高加速度、运动平滑、高可靠性和易于控制的特点。因此,采用音圈电机的主动调平机构,被广泛应用于高精度调平技术领域,例如,在光刻技术领域中对硅片的调平过程。
然而,音圈电机也存在着调平结果稳定性差,容易引起漂移的情况,从而导致最终的调平结果不好,为了发挥出音圈电机的高精度调平的效果,则需要采用极其复杂的控制系统,高频次的对音圈电机进行调节和控制,使得音圈电机在的高精度调平领域中应用的控制成本极高。
实现思路