本技术介绍了一种高精度仪器表面质量自动检测系统及其检测方法,属于精密仪器检测技术领域。该系统包括:轮廓仪数据预处理模块、轮廓仪检测参数优化模块、轮廓仪拍摄参数自动调整模块以及轮式移动平台。系统通过轮廓仪采集仪器表面数据,利用预处理模块对数据进行处理,评估模块对检测参数进行评估和优化,调整模块自动调整拍摄参数以获得最佳检测效果。轮式移动平台使系统能够灵活移动,适应不同仪器的检测需求。该系统提高了仪器表面质量检测的准确性和效率,具有广泛的应用前景。
背景技术
在现代工业制造中,质量控制是确保产品可靠性和一致性的重要环节。轮廓仪是一种用于测量物体表面轮廓的精密仪器,广泛应用于机械加工、半导体、光学元件等多个领域。轮廓仪的测量结果直接关系到最终产品的质量。例如,在半导体行业,任何微小的表面瑕疵都可能导致芯片性能下降甚至报废,对轮廓仪表面进行质量检测,不仅可以提高测量精度,还能延长设备使用寿命,降低维护成本,因此,对轮廓仪表面进行质量检测是极其有必要的。
现有技术如公告号为:CN114486902B的发明申请专利公开的质量检测系统和方法,用于检测彩色隐形眼镜铸模的印刷质量,包括:相机、机械传动模块、电气控制模块和处理模块,处理模块分别与相机和电气控制模块通信连接。机械传动模块包括水平模组和设置在水平模组上的旋转模组,旋转模组放置待检测铸模。电气控制模块包括电机组和控制电机组的控制器,用于驱动水平模组的平移和旋转模组的旋转。处理模块用于对控制器进行设置并且根据从相机接收的图像确定铸模的印刷质量信息。本公开以自动化的质量检测系统代替了人工,可以解决人工主观目测法存在的检测标准不统一、无法保证准确性、检测效率低等问题。
结合上述方案可以发现,现有技术中鲜少有针对轮廓仪的表面质量进行检测,一方面对轮廓仪的先验数据的关注度不高,而轮廓仪的先验数据,则可以表明轮廓仪的哪些表面区域容易出现质量缺陷,从而进行针对性检测,现有技术中对这一层面的忽视导致轮廓仪的检测不精准,增加误差,且延长检测时长、在一定程度上浪费检测资源,另一方面现有技术中大多通过路径最短的方式选择检测路径,而轮廓仪的待检测区域的不同也表明了需求的光源和镜头不同,因此需要考虑到光源和镜头切换的便捷性,现有技术中对这一层面的忽视容易导致拍摄机构在进行图像检测时的光源频繁切换和镜头频繁切换,降低图像检测的效率,增加光污染,镜头在频繁切换时也易受环境中的污染,从而降低拍摄到的图像质量。
实现思路