本技术介绍了一种新型阵列式气体传感器及其制造技术,该传感器由多个气敏单元组成,这些单元以阵列形式排列。每个气敏单元包括氧化锆基底和加热电极,旨在提高气体检测的灵敏度和准确性。
背景技术
在气体传感领域,传统半导体传感器、电化学传感器和光学气敏分析仪等得到广泛应用。尽管单一独立探测器在特定场合能够有效工作,但在复杂环境或检测成分复杂的混合气体时,其检测范围、交叉敏感性及环境适应性往往无法满足实际需求。
微电子机械系统(MEMS)气体传感器通过将气体的种类和浓度转换为可测量的电信号,实现对气体的低浓度响应。在MEMS气体传感器上设置传感阵列能够通过多个感知单元对单一或多种目标气体进行检测,从而提高检测的准确性和识别的气体种类。但是,相关技术在尝试将传感器集成在衬底芯片上时,较难实现多个传感器的集成化,并且对于加热电极的工作温度较难实现精准控制和测量。
另外,相关技术制备的阵列式微热板气体传感器在进行气敏检测时,在反复加热的过程中电极膜容易脱落,造成阵列式微热板气体传感器损坏,难以进行持续性工作。
实现思路