本系统介绍了一种衍射光栅的实时检测装置,应用于光学加工技术。该装置集成了衍射光栅、光源、分光器和棱镜等组件。光栅表面设有刻槽面,刻槽面上分布有刻槽线,刻槽线与光栅的参考面形成特定的结构。
背景技术
衍射光栅在光学频谱分析、光通讯系统、AR/VR显示技术等领域均有大量重要的应用。衍射光栅在加工和安装过程中需要对光栅刻槽的方向做精确定位,而常用的定位方式不易实现在线检测功能,影响产品的成本、效率和其它综合性能。为了解决衍射光栅的检测,中国专利号CN102706542A的“一种凹面衍射光栅衍射波前的检测方法”公开了:建立凹面衍射光栅衍射波前检测系统以及系统内的部件安装,从而实现衍射光栅的波前检测,但是这种检测方式仅能实现在检波前的行为,而无法实现衍射光栅的在线实时检测,并且该发明所需要的干涉仪价格昂贵,在售后和维修上需要花费较高的成本。
因此针对上述存在的问题,为了进一步减少厂家的生产成本,并且便于衍射光栅在线检测的实现,本发明使用新设计的在线检测装置通过检测刻槽线的方向,利用新颖的光路设计,实现对光栅精确定位的功能。
实现思路