本技术属于机器视觉技术领域,主要涉及一种新型双稳态柔顺飞行拍摄系统、LDI设备及其靶标识别技术。该系统由基座、镜头组件、驱动结构、柔性结构等组成,旨在提高拍摄稳定性和识别精度。
背景技术
LDI(Laser direct-imaging,激光直接成像)机是一种无掩膜数字光刻装备,常采用DMD(Digital micro-mirror device,数字微镜器件)对PCB(Printed circuit board,印制电路板)曝光。在光刻前,需要进行靶标识别与对位。然而,传统LDI机无法调节拍摄组件的对焦面。大面积柔性基板自身翘曲变形、运动系统耦合位移、环境振动、运动副磨损等引起离焦,造成靶标识别精度的劣化,进而降低对位精度,影响后续的光刻工艺质量。
机器视觉作为一种通过相机采集图像的检测技术,常用于产品检测、物体识别、定位追踪等领域。传统的机器视觉以静态拍摄为主,即相机相对于拍摄对象的位置不会发生改变。因静态拍摄效率低,飞行拍摄技术应运而生。由于相机与对象在拍摄时存在相对移动,容易引起运动模糊。叠加离焦模糊,对靶标识别精度的影响更大。因此需要能够在飞行拍摄过程中实现快速调焦的机构。
现有技术公开了一种摄像模组、终端设备及其控制方法,摄像模组包括框架、镜头组件、双稳态部件和驱动组件,其中:框架用于形成摄像模组的外部轮廓结构;镜头组件则用于成像;双稳态部件包括两个端部区域,双稳态部件在两个端部区域之间的区域称之为其他区域,两端部区域均和框架固定,即双稳态部件的两个端部区域不可移动,其他区域则用于和镜头组件固定;镜头组件的轴向包括相对的第一方向和第二方向;双稳态部件具有第一稳态位置和第二稳态位置,在第一稳态位置时,其他区域能够相对端部区域朝第一方向凸出;在第二稳态位置时,其他区域能够相对端部区域朝第二方向凸出;驱动组件能够驱使双稳态部件在第一稳态位置和第二稳态位置之间进行切换,进而可以驱使镜头组件进行位置调整,然而,该方案中,驱动组件驱动双稳态部件时需要发生同等位移,受驱动组件限制,双稳态部件及与其连接的镜头组件可发生的位移较小。
实现思路