多晶硅氢化系统专用保护涂层及其制备与喷涂技术
2025-02-08 19:16
No.1337864779028766720
技术概要
PDF全文
本技术涉及多晶硅生产技术,介绍了一种专用于多晶硅氢化系统的保护涂层及其制备方法和喷涂装置。该保护涂层由抑制层、磨蚀层和封严层组成,其中磨蚀层位于抑制层和封严层之间。
背景技术
“双碳”战略目标和能源转型升级的大趋势下,光伏发电是最核心的技术,是重点发展的新兴产业。作为制造光伏电池板不可或缺的基础材料,高纯多晶硅材料也迎来了新的发展机遇。SiHCl3 是改良西门子法生产多晶硅的原料,主要是通过氢化系统在温度为600℃~800℃,压力为2~4MPa条件下,向氢化炉内加入硅粉、H2 、SiCl4 反应生成SiHCl3 和HCl副产物。反应过程中,会产生一些未反应硅粉和杂质,为提高硅粉的回收率、降低产品中杂质的含量,在氢化炉中设有旋风分离器。当氯硅烷和硅粉在氢化炉内不断流化时,硅颗粒和HCl会导致氢化炉内壁和旋风分离器磨蚀剥落,加速设备的损坏,增加了设备检修更换频次,同时磨损内壁产生的杂质容易使产品杂质含量升高。 保护涂层已成为延长氢化系统设备部件使用寿命的一种有前途的解决方案。目前,保护涂层通常为分层结构,包括粘接层和耐腐蚀层,一般通过喷涂方式依次将粘接层和耐腐蚀层喷涂至氢化炉内壁以及旋风分离器上,以对氢化炉和旋风分离器进行保护。然而,氢化炉使用过程中,其内壁以及旋风分离器中含有的Fe、B、P等元素会发生外扩散,进入氢化炉反应腔体内,导致SiHCl3 杂质含量增加,影响多晶硅生产质量。同时,现有喷涂方式对保护涂层的耐腐蚀性有较大负面影响,导致保护涂层耐腐蚀性降低,无法充分发挥保护效果。 因此,有必要提供一种多晶硅氢化系统保护涂层及其制备方法与喷涂装置,通过优化保护涂层成分,配合合理保护涂层制备方法,并使用适宜装置进行保护涂层喷涂,提升保护涂层耐腐蚀性能以及保护涂层与被保护面之间的结合性能,同时方便进行喷涂。
实现思路
阅读余下40%
技术概要为部分技术内容,查看PDF获取完整资料
该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
杨明财  宋鹏  金青林  黄太红  孔德昊
技术所属: 昆明理工大学
相关技术
一种熔盐电解法制备铅基合金联产微米硅的方法 一种熔盐电解法制备铅基合金联产微米硅的方法
一种连续制备的空气电池用铝锌合金及空气电池 一种连续制备的空气电池用铝锌合金及空气电池
一种铂掺杂铁铝合金磁致伸缩材料及其制备方法 一种铂掺杂铁铝合金磁致伸缩材料及其制备方法
一种复合蓄能式高速伺服冲击装置及使用方法 一种复合蓄能式高速伺服冲击装置及使用方法
一种铝合金挤压成型生产工艺 一种铝合金挤压成型生产工艺
一种微纳多尺度构型的钼合金复合粉体及钼合金的制备方法 一种微纳多尺度构型的钼合金复合粉体及钼合金的制备方法
一种抑制晶粒异常长大的含有二氧化锆增强相的钼铼合金及其制备工艺 一种抑制晶粒异常长大的含有二氧化锆增强相的钼铼合金及其制备工艺
一种海底管道外壁巡检机器人及巡检方法 一种海底管道外壁巡检机器人及巡检方法
一种用于镁合金的高效加工设备及其加工方法 一种用于镁合金的高效加工设备及其加工方法
一种镁合金锥形筒及其挤压锻造成形方法和应用 一种镁合金锥形筒及其挤压锻造成形方法和应用
技术分类
电信、广播电视和卫星传输服务 电信、广播电视和卫星传输服务
互联网软件服务 互联网软件服务
集成电路设计 集成电路设计
信息集成数字服务 信息集成数字服务
电气机械制造 电气机械制造
计算机、通信、电子设备制造 计算机、通信、电子设备制造
医药制造、生物基材料 医药制造、生物基材料
石油煤矿化学用品加工 石油煤矿化学用品加工
化学原料制品加工 化学原料制品加工
非金属矿物加工 非金属矿物加工
金属制品加工 金属制品加工
专用设备制造 专用设备制造
通用设备制造 通用设备制造
通用零部件制造 通用零部件制造
汽车制造业 汽车制造业
铁路、船舶、航天设备制造 铁路、船舶、航天设备制造
电力、热力生产和供应 电力、热力生产和供应
燃气生产和供应 燃气生产和供应
水生产和供应 水生产和供应
房屋建筑、土木工程 房屋建筑、土木工程
交通运输、仓储和邮政 交通运输、仓储和邮政
农、林、牧、渔业 农、林、牧、渔业
采矿业 采矿业
农副、食品加工 农副、食品加工
烟草、酒水加工 烟草、酒水加工
纺织皮具居家制品 纺织皮具居家制品
文教体娱加工 文教体娱加工
苏ICP备18062519号-5 © 2018-2025 【123技术园】 版权所有,并保留所有权利