本技术介绍了一种高效双面蓝宝石衬底抛光设备及其工艺,旨在提升衬底抛光技术。该设备能够同时对蓝宝石衬底的两面进行抛光,解决了传统单面抛光后需重新安装的耗时问题。
背景技术
蓝宝石衬底主要用LED芯片制作,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗,使用的时候需要对表面进行抛光操作;
例如公告号为CN218746944U的中国授权专利(蓝宝石衬底抛光装置):包括承载座和安装台,所述承载座上设置有圆周设置有多个吸气孔组,每个所述吸气孔组内的吸气孔呈圆形排列,所述承载座的底部设置有多个分别与多个吸气孔组相连通的管道,所述管道的另一端通过电磁阀连接有气压泵,所述安装台上设置有升降装置,所述升降装置的移动端安装有抛磨盘和用于驱动抛光盘旋转的驱动装置;把蓝宝石衬底贴着吸气孔组放置,启动气压泵使吸气孔内产生负压,从而使蓝宝石衬底贴着承载座,然后启动升降装置和驱动装置使抛光盘对陶瓷片进行打磨,这样设置方便固定蓝宝石衬底。
现有的蓝宝石衬底抛光多数都是单面的,进行另一面抛光需要取下重新安装,费时费力,并且整体结构大,灵活性差,打磨效率低,为此,我们提供蓝宝石衬底双面高效抛光装置及其抛光方法。
实现思路