精密涂布设备在抛光垫材制造中的应用
2025-02-07 10:26
No.1337368872579506176
技术概要
PDF全文
本技术涉及一种用于抛光垫材制造的精密涂布设备,主要由涂布机主体、涂布支架、涂料储存筒以及若干涂料喷枪组成。涂布支架位于涂布机主体顶部,涂料储存筒置于涂布支架之上,涂料喷枪均匀分布,旨在提高涂布精度和生产效率。
背景技术
抛光垫材生产用精密涂布机是一种专门用于抛光垫材生产的设备,其主要功能是通过涂布技术将涂料均匀地涂布在基材上,以形成抛光垫的抛光层,精密涂布机的工作原理通常涉及涂料枪向基材涂布涂料,同时利用气流或其他技术控制涂层的厚度和均匀性,抛光垫材包括CMP抛光垫、研磨抛光垫,这些抛光垫广泛应用于半导体制造、光学器件加工、精密机械加工等领域。 涂布机可以将涂料喷涂在垫材的表面,使其形成抛光层,一些涂料可能容易形成碎屑,特别是在其干燥与固化过程中,涂料就会逐渐形成碎屑,沾附在加工盒表面,涂布机不能及时的对该碎屑进行刮除清理,残留的碎屑可能会继续附着在待加工的垫材表面,影响垫材的质量,为此设计一种抛光垫材生产用精密涂布机尤为重要,可以将抛光结束后,固化的碎屑进行清理,且便于收集。
实现思路
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该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
骆金祥余君萍
技术所属: 深圳市川研科技有限公司.
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