本研究介绍了一种新型软磁薄膜磁存储器件及其制造技术,属于磁性材料和器件技术领域。该磁存储器件由磁存储主体和若干图形化软磁薄膜构成,这些薄膜通过特定的制备工艺实现,旨在提升磁存储性能和可靠性。
背景技术
码盘是指测量角位移的数字编码器。它具有分辨能力强、测量精度高和工作可靠等优点,是测量轴转角位置的一种最常用的位移传感器。码盘分为绝对式编码器和增量编码器两种,前者能直接给出与角位置相对应的数字码;后者利用计算系统将旋转码盘产生的脉冲增量针对某个基准数进行加减。
现有技术中基于磁性薄膜的磁码盘即磁编码器需要使用合适的半硬磁或硬磁材料,这些半硬磁或硬磁材料具有较大剩磁、适中的矫顽力,在制备磁码盘器件时对材料制备和性能的要求很高,因此,目前市面上大多数半硬磁或硬磁材料都难以满足制作高精度磁码盘的需求。
实现思路