本新型装置针对花篮齿杆去毛刺工艺,包含加工框架及控制单元,控制单元与加工框架固定相连,框架内壁对称设有两组纵向分布的加工槽,用于高效去除齿杆毛刺,提升加工效率和质量。
背景技术
在半导体制造过程中,硅片花篮是用于存放和运输硅片的重要工具。花篮通常由聚丙烯、聚砜、聚醚醚酮等耐化学腐蚀的材料制成,具有多个齿杆用于支撑和固定硅片。然而,在花篮的生产和加工过程中,齿杆常常会出现披锋,这些披锋不仅会影响花篮的使用性能,还可能划伤硅片,导致产品质量下降。
目前,去除花篮齿杆披锋的方法主要是依靠人工手工打磨,手工打磨虽然可以有效去除披锋,但效率低下,劳动强度大,且容易出现人为误差,导致去披锋不彻底,因此急需改进。
实现思路