本技术涉及一种反射式光学相控阵芯片及其制造技术,以及应用于激光扫描的装置。该芯片由基底、高反射层、压电层、天线阵列和换能单元组成,其中高反射层位于基底与压电层之间。
背景技术
光束扫描作为一项重要的技术,已经广泛应用在通信、激光雷达、三维成像、高光谱成像和光学传感等领域。目前,实现光束扫描主要是采用缓慢且昂贵的机械式光束扫描器件,例如采用旋转棱镜、微机电系统(MEMS)振镜、传统机械振镜等器件;然而,这些机械式的器件通常是结构复杂且价格昂贵,响应速度有限,而且稳定性较差。
光学相控阵(Optical Phased Arrays,OPA)技术是一种灵活、快速和精确的非机械光束定向扫描技术,其具有分辨率高、抗干扰性强和高保密性等特点;光学相控阵为光束扫描提供了一种纯固态光束控制器件,当激光光束照射到OPA器件上时,OPA器件通过调节各个结构单元的相位,可以实现光束指向的变化、从而实现光束扫描。若将光学相控阵集成在一块芯片上,则光束扫描不再需要电机等机械驱动装置,将其应用于测量系统中,可利于测量系统的结构简化,且灵活性好、功耗低,这使得光学相控阵在光检测和测距、图像投影、激光雷达和光学存储等领域有着极大的吸引力,因此,有必要对光学相控阵芯片进行研究开发。
上述背景技术内容的公开仅用于辅助理解本发明的发明构思及技术方案,其并不必然属于本专利申请的现有技术,在没有明确的证据表明上述内容在本专利申请的申请日已经公开的情况下,上述背景技术不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。
实现思路