本技术涉及一种高效LiF膜点源坩埚清洁系统,该系统由底座、滑座、操作台和坩埚夹具组成。底座上设有滑座,操作台与滑座滑动连接,操作台上配备坩埚夹具,底座上还设有其他必要组件,以实现坩埚的高效清洗。
背景技术
OLED坩埚作为OLED生产过程中的核心蒸镀单元,本身需要具备很高的耐温性和热稳定性,尤其是在LiF薄膜的真空蒸镀过程中,加热到一定程度后坩埚内部的材料会在熔化后冷却过程中形成坚硬的结晶体结构,并与坩埚内壁紧密的粘结在一起,目前企业采用药水浸泡的模式将坩埚中的LiF薄膜去除,但是这种清理方式成本高昂,废水处理代价较大。
实现思路