高效陶瓷盘清洁除尘系统
2025-02-04 10:04
No.1336276137931972608
技术概要
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本技术介绍了一种高效的陶瓷盘清洁除尘系统,该系统由负压吸尘装置和正压吹气装置组成。负压吸尘装置位于陶瓷盘的上方,包含真空抽吸器和吸尘头,真空抽吸器通过外部排尘管道连接,以实现陶瓷盘表面的高效清洁。
背景技术
: 半导体晶圆生产过程中,需要对晶圆进行划片分割,常常采用透膜背切方式进行,将晶圆放置于陶瓷盘上,再将膜贴在晶圆表面,通过切刀沿着晶圆上的切割道进行切割,晶圆沿着切割道裂开,完成晶圆的分割。 切刀切割过程中,会产生微米级的颗粒物,当晶圆切割完成后下料,这些颗粒物就会落在陶瓷盘上,当下一片晶圆放置在陶瓷盘上进行分割时,这些颗粒物就会对晶圆表面造成损伤。为了解决这个问题,人们在陶瓷盘上设置了清理装置,将这些颗粒物从陶瓷盘上清理出去,防止对晶圆表面造成损伤。这些清理装置都是采用与陶瓷盘直接接触的方式进行清理,在清理过程中,颗粒物与陶瓷盘表面发生摩擦,容易造成陶瓷盘表面被划伤,影响陶瓷盘精度。 公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
实现思路
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技术所属: 苏州海杰兴科技股份有限公司.
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