本实用新型介绍了一种高效在线单晶炉管道清灰系统,该系统由管道内清灰机构和驱动机构组成,驱动机构包括安装于管道底部的安装架及可拆卸安装于安装架底部的部件。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉主要包括炉体、电气控制柜、加热器、电源柜、主真空泵、副室真空泵、真空管道、液压系统、氩气系统,以及冷却水系统。
在使用时,将预先合成好的多晶原料装在炉体中,并被加热到原料的熔点以上使其熔化,控制温度、炉压、功率,晶升速度、埚升速度、晶转速度、埚转速度等关键控制参数,完成调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾及停炉等一些列工艺过程,进而得到所需直径大小的圆柱状单晶硅棒;在整个过程中原料熔融状态后易产生挥发物,随着单晶炉长时间运行,挥发物易附着在真空管道的管壁以及管口处。
中国专利申请号为202122127720.2,公开了一种单晶炉清灰装置及单晶炉,该单晶炉清灰装置包括:驱动组件、清灰组件;驱动组件与清灰组件连接,驱动组件用于驱动清灰组件沿清灰组件与驱动组件连接的连接方向往复运动,清灰组件用于对单晶炉的管道进行清灰,其中驱动组件采用所述驱动组件为电磁铁,所述清灰组件连接有电磁铁杆,所述电磁铁杆与所述电磁铁连接;在所述电磁铁与所述电磁铁杆通电的情况下,所述电磁铁杆远离所述电磁铁,所述电磁铁杆带动所述清灰组件沿第一方向移动;在所述电磁铁断电的情况下,所述电磁铁杆靠近所述电磁铁,所述电磁铁杆带动所述清灰组件沿第二方向移动;其中,所述第一方向与所述第二方向相反,这种结构单晶炉清灰装置在维修过程中需要等炉体温度降低后,工人进入管道后再进行拆卸,安全系数低,操作不方便。
实现思路