本技术属于激光加工技术领域,主要描述了一种实现三维各向同性加工的装置和方法。该装置包括激光发射器、三维运动平台以及旋转狭缝系统,用于处理透明材料。
背景技术
目前基于飞秒激光直写(FLDW)的三维微加工已经发展成为透明光学材料三维微加工最有效的技术之一,在微流控、微光学、微电子学、光子学、光流体学等诸多研究领域得到了广泛应用。
然而,直接聚焦飞秒激光产生的焦斑的横向和轴向分辨率自然是不平衡的,轴向分辨率明显拉长,这限制了三维各向同性的制造能力。为了平衡横向分辨率和轴向分辨率,一些光束整形技术被提出。其中,狭缝整形技术作为一种光束整形技术,可在平行于狭缝方向实现一维圆形截面。由于现有狭缝整形技术中狭缝的方向通常是固定的,如公告号为CN106312303A的中国发明专利公开的一种缩小基于飞秒激光直写透明材料光波导出射模场直径的装置和方法,因此利用狭缝整形技术无法在玻璃材料内部实现三维各向同性加工。
实现思路