本技术涉及一种高精度微线栅压印设备及其制备方法,属于精密压印技术领域。该设备包括一个支撑箱,其特点是支撑箱的一端连接有多个精密组件,用于实现微细线栅的精确压印。
背景技术
高精压印技术是一种新型的加工技术,常用于纳米压印,该技术通过机械转移的手段,达到了超高的分辨率,有望在未来取代传统光刻技术,成为微电子、材料领域的重要加工手段。目前,纳米压印技术在晶圆方面的应用类似于传统印刷的方法,在基底上“压印”或“印刷”出晶圆的微观结构。通过控制印刷的过程和参数,可以实现高精度、高效率的晶圆压印。
而目前在进行纳米压印的过程中,基片需要保持水平且处于固定状态,当基片固定的位置出现问题导致压印故障后,工作人员并不能够第一时间发现故障问题,需要对整体设备进行巡检,浪费了大量的人力。
实现思路