本技术涉及夹具技术,特别是一种柔性夹取机构及其在玻璃微流控芯片清洗中的应用。该机构由第一夹持机构、第二夹持机构和复合直线运动机构组成,其中第一夹持机构包含固定部件。
背景技术
微流控芯片也叫作微流控芯片实验室,微流控芯片它的体积很小,在一片很小的有机玻璃上加工,图形一般都是有微米级的微流道与储液池构成,生物或者化学等反应在可以芯片上完成,反应所需要的试剂通过外部装置精确地控制,这样可以极大地提高试剂的使用效率。
微流控芯片加工制造过程当中,键合是其中非常重要的工艺之一。键合是将两片表面清洁、原子级平整的芯片材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直接结合,通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。优秀的键合工艺能够大大地提高微流控芯片的使用寿命,增加芯片的可靠性以及提高芯片制造的合格率。
薄壁件的边界条件不同,边界有圆形、曲面、矩形,在不同的条件下应用的薄壁件是不同的,但是所有的薄壁件都有一个共同的特点,无关边界大小,但厚度有时仅有几毫米,薄壁零件还有刚性差、定心困难等问题。以上方式都是针对薄壁金属件柔性抓取机构较多,但是针对玻璃等易碎材质的薄壁件没有适合的夹取机构,并且大部分的夹取机构都是固定的,不能移动。
现有玻璃微流控芯片的键合方法存在以下问题:1、玻璃微流控芯片在键合时需要不断用纯净水清洗从而完成玻璃微流控芯片的预键合,但是整个过程需要实验人员用手拿着玻璃微流控芯片进行冲洗。2、玻璃微流控芯片的刻蚀需要在强酸的溶液中进行,实验人员用手抓取存在一定危险性。3、玻璃微流控芯片是易碎材质,在键合过程中容易导致芯片发生断裂和破损。
实现思路