本技术涉及精密制造加工技术,旨在提供一种飞秒激光真空原位阀芯柱状元件的加工装置、方法、设备及产品。该装置能够在加工过程中对工件夹具进行精确位置调节,实现高效、精确的加工效果。
背景技术
随着工业自动化水平的不断提高,飞秒激光真空原位阀芯等柱状元件制造行业对于加工的精度和效率要求日益提高。在柱状元件的表面进行微纳功能结构制备,可以提升柱状元件的多种性能,如密封性能、润滑性能及耐磨性能等,由于传统的机械加工方法存在加工难度大、加工精度低、加工效率低、加工适应性差、表面质量难以保证以及环境污染等问题,不能满足柱状元件表面微纳结构加工的市场需求。而激光加工作为一种新型的加工技术,具有加工精度高、自动化程度高、适用范围广、灵活性高和无污染等优点,完美解决了传统加工所存在的问题。
但是,在使用现有技术过程中,发明人发现现有技术中至少存在如下问题:
现有的激光加工装置普遍用于空气氛围下的平面加工作业,通常只能加工平面元件,无法适应复杂的阀芯等柱状元件的加工需求,同时由于在空气环境下进行加工作业,元件存在金属氧化问题,使得现有技术难以满足柱状元件的原位表面的微纳结构精密及一次成型的加工需求。
实现思路