本技术介绍了一种非球面熔石英光学元件的精密制造流程,涵盖关键步骤:首先进行超精密磨削,确保面形误差和表面粗糙度满足标准。
背景技术
目前,熔石英玻璃是高功率激光系统中普遍应用的光学材料,由于其高本征损伤阈值及宽光谱透过率的特性,被广泛应用于聚焦透射、衍射光栅、窗口及屏蔽等核心元件。而随着激光系统功率不断提升,熔石英光学元件的制造面形精度、表面质量及损伤阈值等指标要求也在不断提高,其要求在全频段的面形误差、粗糙度等都能控制在纳米尺度以内,因此对熔石英光学元件的加工工艺有非常高的要求。
传统的熔石英光学元件制造通常是按照先毛坯切割,然后磨削成形,最后研磨抛光的工艺流程进行,加工周期长,在加工过程中将不可避免地引入破点、划痕及污染等表面及亚表面的缺陷,对高性能熔石英光学元件的使用性能及寿命都造成了严重的影响。同时,随着光学设计结构的复杂化,对复杂非球面熔石英元件的需求也在不断增长,在需要批量生产的光学元件精密/超精密加工过程中,仅仅依靠单一的技术或是传统的工艺方法已经无法满足生产需要。
因此,实现高精度、低损伤、高效率及低成本的现代光学元件加工工艺已经成为关键性的技术难题。
实现思路