本技术涉及硬脆材料加工技术,特别是一种适用于大长径比硬脆管件内孔的精密研磨工具及其研磨方法。该工具和方法旨在克服硬脆管件高硬度、脆性以及超长径比和薄壁厚带来的加工挑战。
背景技术
陶瓷管具有良好的物理化学性能,被广泛的应用到半导体、核能以及航天领域,例如:在核能领域,以碳化硅陶瓷管为内衬管,在半导体领域,以碳化硅管为换热管。此类管件一般长度超过1000mm,内径7~8mm,其不仅具有高硬度及脆性的材料特性,同时具有超大长径比且成品壁厚较薄的结构特点,这就导致大长径比的陶瓷管在加工内孔过程中容易产生损伤,且很难对其管内壁进行精加工,这使得该零件的加工也成为限制我国能源发展的痛点。
实现思路